プロセス材料関連部品の販売
1.バッキングプレート
各種・サイズ・形状対応可能2.450mmウェーハ用アダプター
300ｍウェーハをアダプターに装着することで、450mmウェーハ形状として使用することができます。
3.静電チャックの販売及び再生処理
1）AMTTは、8インチ半導体プロセス装置向けのポリイミド電極シートの静電チャックをご提供いたします。また、再生を行います。
2）アルミナ／アルマイト電極シートタイプは、ご相談ください。
3）AMTTは、大型基板の液晶向け滴下貼り合わせ装置向けの静電チャックをご提供いたします。
また、再生も行います。
