エンジニアリング・ネットワーク
半導体関連装置の保守・サポートについてサードパーティー・エンジニアリング企業とのアライアンスを組んでおります。
お客様にご満足いただける品質・価格・納期管理をご提供しております。
お客様にご満足いただける品質・価格・納期管理をご提供しております。
装置保守・サポートアライアンス
対応可能装置
KLA-Tenocor |
KLA21xxシリーズ(欠陥検査装置) KLA255xxシリーズ(KLA21xx用データ解析装置) KLA5xxxシリーズ(重ね合わせ検査装置) Archer10(重ね合わせ検査装置) SFS6xxxシリーズ(パーティクル検査装置) SP1シリーズ(パーティクル検査装置) ASシリーズ、Pシリーズ(段差測定器) FLXシリーズ(ストレス測定装置) |
旧Leica社製装置 | MIS200(レビュー検査装置) INS2000(レビュー検査装置) |
旧Therma-Wave社製装置 | TP4xx、TP5xx(イオンドーズモニター装置) |
サポート内容詳細
●定期点検
●部品販売、消耗品販売(ランプ、レーザー、基板など)
●トラブル対応(出張対応、引き取り修理対応、電話サポート)
●移設作業
●リファブ作業
●装置立ち上げ作業
●部品販売、消耗品販売(ランプ、レーザー、基板など)
●トラブル対応(出張対応、引き取り修理対応、電話サポート)
●移設作業
●リファブ作業
●装置立ち上げ作業
装置保守部品、スペアパーツのご提供
1.AMTTは、お客様が長くお使いのプロセス装置、検査装置の保守部品、スペアパーツについて、表面処理を
含めて同等品のご提供をいたします。
特に製造中止、サポート中止となったレガシー装置について、図面がなくても現行部品から図面化し作成す
ることが出来ます。
2.光学部品については、レンズ・コーティングを含めてご相談ください。
コーティング再生もご提供いたします。
3.製造中止となった海外製品への保守部品、スペアパーツのご提供を致します。
また、製作が難しい場合、メーカーでの部品再生の斡旋も致します。
含めて同等品のご提供をいたします。
特に製造中止、サポート中止となったレガシー装置について、図面がなくても現行部品から図面化し作成す
ることが出来ます。
2.光学部品については、レンズ・コーティングを含めてご相談ください。
コーティング再生もご提供いたします。
3.製造中止となった海外製品への保守部品、スペアパーツのご提供を致します。
また、製作が難しい場合、メーカーでの部品再生の斡旋も致します。